ASML光刻机柏林火灾恐影响EUV组件生产

发布时间:2022-01-12 17:17:55 阅读量:386

此前,荷兰光刻机巨头ASML发布声明称,其位于德国柏林的一座工厂于1月2日晚间发生火灾。幸运的是,大火已在当天夜间被扑灭,并且没有造成人员受伤。在上周发生火灾后,ASML提供了其位于德国柏林的工厂受损情况的最新信息。

荷兰半导体元件公司是全球最大的光刻系统供应商;提供用于制造集成电路的机器。该公司本周表示,其深紫外(DUV)和极紫外光刻(EUV)线都受到了影响。但是DUV系统能够恢复的地方,EUV系统仍然处于离线状态。

ASML对该事件进行了初步评估:它说火灾发生在柏林现场的一栋生产大楼中,烟雾部分影响了相邻的建筑物。“我们已经能够在这些建筑物的某些部分恢复生产。其他建筑物没有受到影响,并且可以完全投入使用,”该公司在更新中表示。虽然对损坏的影响评估仍在进行中,但ASML表示,DUV组件的组件出现了一些中断,但生产已经重新开始,不应影响计划的产量。

ASML光刻机柏林火灾恐影响EUV组件生产

然而,该公司指出,火灾确实影响了其EUV系统晶圆夹具的部分生产区域。“我们仍在完成该生产区域的恢复计划,并确定如何在我们的输出计划和现场服务中尽量减少对我们的EUV客户的任何潜在影响。”

根据官网信息显示,该柏林工厂前身为Berliner Glas,是ASML于2020年7月收购的一家陶瓷和光学模组制造商,主要为ASML光刻机生产晶圆台、光罩吸盘、反射镜等零组件。

由于ASML是全球重要的光刻机制造商,也是目前唯一能够制造极紫外光刻机的厂商。因此,在全球芯片短缺的背景下,ASML光刻机的生产及交付至关重要,而柏林工厂的火灾是否会影响到生产也备受关注。ASML将于1月19日公布其第四季度和2021年全年业绩,预计将提供有关该事件的进一步更新。

标签: ASML

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