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半导体电子材料咨询公司TECHCET报告称，2021年，ALD/CVD前驱体市场总额增长了21%，达到13.9亿美元，预计2022年将增长12%。2022年的前驱体市场将超过15.6亿美元，原因是受小于7nm逻辑器件产量增加和3DNAND器件堆叠层数增加的驱动，行业整体增长强劲。DRAM制造向EUV光刻的过渡也将带来前驱体收入增加的机会。
标签: 逻辑器件 ALD/CVD
发布时间: 2022年6月29日 16:30 阅读量: 852
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