三星电子P3晶圆厂下月开始建设 将大量采用EUV生产

发布时间:2022-04-26 17:10:45 阅读量:347

据韩国媒体《The ELEC》报道,三星位于平泽市的P3晶圆厂将于5月开始安装设备,并持续到7月,较原计划时程提前一个月,整个芯片厂则将在2022年下半年建设完成。

三星平泽市P3晶圆厂于2020年开始建设,占地70万平方米,将成为全球最大晶圆厂厂区,是三星P2晶圆厂1.7倍。当然,工厂的投资也会相当庞大,他们计划未来几年最少投资30万亿元,最多则投资50万亿韩元,也就是至少投资240亿美元,最高投资400亿美元。

三星电子P3晶圆厂下月开始建设 将大量采用EUV生产

报道强调,三星在平泽市构建的P3芯片厂,预计规划为一座既生产内存,又进行逻辑芯片代工制造的芯片厂。其中,最新投资生产的将会是NAND Flash闪存,随后是则会是DRAM,最后上限的将会是采用3纳米制程技术的芯片制造与代工的生产线。而就因为三星平泽P3芯片厂将率先开始生产NAND Flash闪存,也就代表着工厂设备的安装将从NAND Flash闪存的生产设备开始,而该生产设备将自2022年的5月份第一周就将开始进行安装工程。

另外,值得注意的是,三星平泽的这一座大型芯片厂将大量采用极紫外曝光设备(EUV) 来进行生产工作。其中,在NAND Flash闪存的生产线中,将采用EUV生产第7代176层堆栈的V-NAND闪存,而在预计进行芯片代工及生产的3纳米制程技术产线上,也将需要EUV来进行生产工作。

标签: 三星 晶圆 EUV

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