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作为半导体制造中的核心装备之一,光刻机至关重要,7nm以下工艺所需的EUV光刻机只有ASML公司能生产,售价达到10亿以上,不过今年EUV的势头熄火了,DUV光刻机需求反而暴涨。
标签: DUV ASML EUV
发布时间: 2023年7月21日 15:38 阅读量: 969
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